公告日期：2025-08-18

证券代码：603690 证券简称：至纯科技

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

投资者关系活动记录表

投资者关系活动 √ 特定对象调研 □ 分析师会议

类别 □ 媒体采访 □ 业绩说明会

□ 新闻发布会 □ 路演活动

□ 现场参观 √ 券商策略会

□ 其他

参与机构 中欧基金、高信百诺资管、华泰资管、海通资管、弥远投资、钦
沐资产、北方工业有限公司、UG FUND、Eagle Group、华泰证
券、华福证券、天风证券、东方证券等

时间 2025 年 6-7 月

地点 现场会议

上市公司接待人 董秘任慕华、证代张娟
员姓名

一、 交流的主要问题及回复概要

1、公司 2025 年上半年整体订单和经营情况如何？

答：2025 年上半年，公司整体经营稳定，业务订单正常开
展，详细情况请以公司 2025 年半年度报告为准。

2、公司湿法设备业务有何进展？先进制程高端机进展情况
如何？

投资者关系活动 答：2024 年公司对设备进行技术升级，优化改造，公司旗下
主要内容介绍 至微科技发布了 S300-D 湿法设备新平台，该平台专为先进制程
需求设计，覆盖 SPM、BACKSIDE ETCH（背面蚀刻）、Preclean
（预清洗）、BEVEL（斜边处理）等关键工艺，其 WPH（每小
时处理晶圆的数量）提升 30%，新平台显著提升了生产效率，并
在腔体的缩小和流场的控制方面有了进一步提升以满足更苛刻
的工艺需求。

公司于 2022 年正式推出的高温硫酸 SPM 设备，成为国产
首台应用于大规模量产线的 12 英寸硫酸清洗机，月产能最高可

达 6 万片次，单机累计产量已超过 70 万片次，是高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。

未来公司将聚焦先进制程的产品与服务，把握好目前先进制程湿法工艺验证领先的优势，希望在下游集成电路客户先进制程有重大进展时抓住机遇，提升公司半导体设备业务比重。
3、国内目前清洗设备的竞争格局如何？

答：国内清洗设备行业目前处于快速发展阶段，国产替代加速，国内也有数家湿法设备企业。中低阶清洗设备厂商众多，产品同质化严重，价格竞争激烈；高阶清洗设备技术门槛较高，主要仍由外资品牌主导。公司湿法设备产品聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后，在 28 纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得较多道数工艺订单，尤其在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。

4、公司湿法设备能替代国外进口的设备吗？

答：公司湿法设备用户已经覆盖大部分核心客户并为其配套关键工艺节点的湿法工艺设备。在 28 纳米率先实现前中后段全工艺覆盖，在更先进制程节点正陆续替代国外厂商。公司不仅实现了工艺机台的全自主 IP，还砥砺五年多时间基本实现了核心模组到功能单元再到元器件层的本土供应链培育和建设。

5、电子材料业务进展如何？

答：公司大宗气站的业务进展顺利。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的 12 英寸晶圆对应 28 纳米的大宗气体供应工厂指标完全达标，为用户提供至少 15 年的高纯大宗气体供应，从 2022 年初至今持续稳定运行，成功打破了半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。目前公司第二座大宗气站于 2024 年上半年已开始为客户提供供气服务，随着客户的产能爬升，预计 20……
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