公告日期：2025-06-09

证券代码：603690 证券简称：至纯科技

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

投资者关系活动记录表

投资者关系活动 √ 特定对象调研 □ 分析师会议

类别 □ 媒体采访 √ 业绩说明会

□ 新闻发布会 □ 路演活动

□ 现场参观 √ 券商策略会

□ 其他

参与机构 华泰宝兴、财通基金、华夏基金、信诚基金、华宝基金、西部利
得基金、招银理财、广发资管、睿亿投资、峰境基金、外贸信托、
万向创投、博衍基金、世嘉控股、国泰基金、上海国有资产经营
有限公司、上海国鑫投资发展有限公司、承风金萍私募、上海标
朴投资、鑫巢资本、榕湖投资、苏银理财、开思基金、浙商资管、
易知投资、百年人寿、宁波盛世知己投资、上海保银、深圳君茂
投资、苏州龙远投资、上海联创永沂投资、江苏乾融、中信证券、
中金证券、申银万国、国泰海通、瑞银证券、摩根大通、国投证
券、浙商证券、方正证券、东海证券、东方证券、华金证券、上
海证券、中信建投证券、国金证券、华安证券、国信证券、华福
证券、国信证券、国盛证券、华鑫证券、国联证券、中航证券、
东兴证券

时间 2025 年 4-5 月

地点 现场会议、电话会议

上市公司接待人 董事长蒋渊，副总经理陆磊，董秘任慕华，财务总监丁炯
员姓名

一、 公司 2024 年度及 2025 年一季度业绩情况介绍

公司 2024 年度实现收入 36.05 亿元，同比增长了 14.4%；归
投资者关系活动 母净利润约 2,360 万元，同比下降较多。2025 年一季度实现收入
主要内容介绍 7.28 亿元，净利润 1,902 万元。近年来公司经营性现金流一直是
流出状态，2023 年度流出约 8 亿元，2024 年度流出约 4.6 亿元，
2025 年一季度流出约 6,200 万，公司一直在加强对现金流的管

理，已取得初步成效。

二、 交流的主要问题及回复概要

1、请公司高纯工艺业务发展如何，目前市占率多少？

答：公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，公司系统集成及支持设备已经能够实现 ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者，在用户应用需求牵引下开发的个别功能超越国际品牌。公司已经成为国内高纯工艺系统支持设备供应商，自主品牌 SAFETRON®目前业务量接近系统集成业务总量的 40%，至今已经出货各类高纯特气设备和高纯
化学品设备超过 3.6 万台，其中 2024 年出货超过 1 万台，有效
替代并改变了原先由境外公司垄断的供给格局。

据公司统计，2016-2024 年中国大陆主流 12 寸晶圆厂 41 次
特气中标结果中，公司气体设备及系统的市占率是 48.8%，化学品设备及系统的市占率超过 30%。在为诸多一线 12 寸晶圆厂服务的过程中，公司积累了大量的技术和经验，并结合自身模块化+数字化的优势，推出了场景化解决方案，为用户在 COC及 COO 的优势上作出贡献，这将进一步巩固公司在高纯领域的领先地位。

2、公司湿法设备业务有何进展？未来发展趋势如何？

答：2024 年公司对设备进行技术升级，优化改造，公司旗下至微科技发布了 S300-D 湿法设备新平台，该平台专为先进制程需求设计，覆盖 SPM、BACKSIDE ETCH（背面蚀刻）、Preclean（预清洗）、BEVEL（斜边处理）等关键工艺，其 WPH（每小时处理晶圆的数量）提升 30%，新平台显著提升了生产效率，并在腔体的缩小和流场的控制方面有了进一步提升以满足更苛刻的工艺需求。

公司于 2022 年正式推……
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