光刻机概念+压缩机主业+国企改革+中报预增国金证券此前指出，光刻机作为晶圆制造最
光刻机概念 + 压缩机主业 + 国企改革 + 中报预增
国金证券此前指出，光刻机作为晶圆制造最核心设备，当前国产化率不足5%，国产替代进程有望加速，建议关注核心部件供应商。
1、据2024年9月24日异动公告，公司的控股子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%。
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