截至8月12日收盘，光刻机概念上涨2.26%，位居概念板块涨幅第2，板块内，25股上涨，海立股份、凯美特气等涨停，美埃科技、同飞股份、洪田股份等涨幅居前，分别上涨10.34%、8.38%、7.02%。跌幅居前的有中润光学、芯碁微装、思泰克等，分别下跌3.56%、3.56%、1.70%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.74亿元，其中，24股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入4.43亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、旭光电子、中船特气等，主力资金分别净流入3.56亿元、3.03亿元、7602.52万元。

　　资金流入比率方面，凯美特气、旭光电子、海立股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为32.90%、18.33%、11.62%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜