华微：根据吉林省人民政府2021年的规划，华微电子作为牵头企业，联合华为和长春光
华微：根据吉林省人民政府2021年的规划，华微电子作为牵头企业，联合华为和长春光机所推进高端光刻技术项目，重点攻关EUV光源、投影物镜等模块。2025年8月4日，吉林新闻联播还报道了要加快推进华微电子与华为公司、中科院长春光机所合作项目，表明该项目已取得阶段性进展。
据相关报道，长春光机所提供光刻机核心技术与研发团队，ST华微负责制造工艺优化与量产，华为导入下游客户资源。
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