光刻机目前大家都在猜上海微电子要借哪个壳电，但从光刻机整机制造需求来看，得关注这
光刻机目前大家都在猜上海微电子要借哪个壳电$上海电气(SH601727)$ $张江高科(SH600895)$ ，但从光刻机整机制造需求来看，得关注这些能把基础KrF和iline光刻机先能量产的成熟制程光刻机的国产替代，基础打好后才能有先进制程光刻技术的量产应用。
光刻机按照16个环节分类，目前有能力覆盖这16个环节完成整机制造的唯一一家就是联合化学最近投资的卓光芮
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