公司的半导体臭氧设备400g/L，这是浓度指标。而臭氧气体纯度指标，指的是臭氧气体的纯净度，即臭氧以外的杂质含量多少，在业内通用都是用％来表示，多少个9数字就代表多少N。同类型的公司比如天津奥尔斯曼，比如美国mks，在其半导体臭氧发生器的产品参数中，都有标注其产生的臭氧气体纯度达99.9995％，为6N水准。通常公认半导体级气体的纯度必须要达到至少5N，所以请问公司的臭氧设备产生的臭氧气体纯度多少
国林科技：
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（来自 深交所互动易）
答复时间 2025-08-18 08:55:11
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