美国mks官网上显示其最先进的半导体臭氧发生器产生的臭氧纯度为99.9995%,即6N水准。该产品已用于台积电3nm芯片生产线。请问公司的同类型半导体臭氧发生器的臭氧纯度为多少?是多少N的水准?能否达到同样3nm芯片生产的要求?
国林科技:
尊敬的投资者,您好。纯度指的是浓度,用mg/L单位来表示,99.9995%属于描述不符。感谢您的关注。
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(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-08-15 15:55:40
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