罗博特科董秘在2019年曾表示公司尚无半导体设备光刻机技术,目前也无公开信息表明
罗博特科董秘在2019年曾表示公司尚无半导体设备光刻机技术,目前也无公开信息表明其拥有光刻机相关业务。不过,罗博特科间接参股子公司ficonTEC主要从事半导体自动化微组装及精密测试设备的设计等,罗博特科本身也有半导体涂胶显影设备相关业务,该设备是光刻工艺与光刻机配合作业的重要设备,因此公司被视为有光刻机概念。
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