高功率微波束可干扰电子设备的工作，或清除其存储器及处理器的逻辑运算，或使电子部件过热而损坏。现代武器系统大多采用微电子部件，高功率微波武器能够从远距离把电子器件“烧”坏，使整个武器失效。例如美国的CHAMP导弹，其战斗部内装备有先进的电磁脉冲发生器，能够向目标集中发射高功率微波，毁伤敌方电子设备的芯片等元器件，使其彻底瘫痪56。