发改委出了一个窗口指导意见，再次提高了设备国产化率要求。主要针对三种设备即：离子
发改委出了一个窗口指导意见，再次提高了设备国产化率要求。
主要针对三种设备即：离子注入，氧化扩散，和量检测这三种设备还设立了下限。量检测设备是除了光刻设备之外，国内国产化率最低的设备，整体只有5%。量测的比例从5%拔高到10%以上，是最受益的品种没有之一。
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