董秘你好，公司是否生产适用于光刻机的产品？
中泰股份：
您好，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体以及高纯电子保护气的装置及核心设备业绩，精制氪气氙气气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻、刻蚀、沉积等制程，感谢您的关注！
您好，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体以及高纯电子保护气的装置及核心设备业绩，精制氪气氙气气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻、刻蚀、沉积等制程，感谢您的关注！
（来自 深交所互动易）
答复时间 2025-07-23 20:45:11
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