汉中精机与“羲之”合作。重大新闻。浙江大学余杭量子研究院研发的首台国产商业化电子
汉中精机与“羲之”合作。重大新闻 。浙江大学余杭量子研究院研发的首台国产商业化电子束光刻机“羲之”。汉钟精机与浙江大学在该项目中有合作关系。
汉钟精机突破了EBL所需的超高真空技术，其干式真空泵在国内EBL设备市场占有率超60%，是“羲之”真空系统的核心供应商。此外，汉钟精机还与浙江大学合作开发多级分子泵，将真空响应时间缩短至15秒以内，优于国际竞品。
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