董秘您好,随着国内半导体产业链自主化进程加速,作为核心耗材的超纯水系统备受关注。请问,沃顿科技的超纯水膜产品,在技术路线上是否已规划或正在研发能够用于先进制程(如浸润式DUV光刻)所需超纯水系统的顶级膜材料?目前产品在国内半导体客户中的验证或应用主要达到了哪个级别的水处理要求?谢谢。
沃顿科技:
您好!公司UE系列膜产品具有高脱盐率、高产水量、低TOC溶出量的特点,适用于超纯水制取领域。公司超纯水系列膜产品已在多家半导体企业实现稳定应用。感谢您的关注!
您好!公司UE系列膜产品具有高脱盐率、高产水量、低TOC溶出量的特点,适用于超纯水制取领域。公司超纯水系列膜产品已在多家半导体企业实现稳定应用。感谢您的关注!
(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-08-22 16:23:40
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